Optimización del proceso de fabricación de películas delgadas de rutenio y óxido de rutenio
Se fabricaron películas delgadas de rutenio por la técnica de depósito de capa atómica (ALD) usando Bi(etilciclopentadienil) rutenio (Ru(EtCp)2) como precursor y ozono (O3) u oxígeno (O2) como agente oxidante. Se utilizó silicio (100) recubierto con óxido
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| Language: | Spanish / Castilian |
| Published: |
2021
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| Online Access: | https://repositorioinstitucional.uabc.mx/handle/20.500.12930/534 |
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