Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u

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Bibliographic Details
Main Author: Jurado González, Jorge Adolfo
Other Authors: Tiznado Vázquez, Hugo
Language:spa
Published: 2021
Subjects:
Ingeniería Tesis y disertaciones académicas
QC378 J87 2016
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