Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u

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Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Jurado González, Jorge Adolfo
Beste egile batzuk: Tiznado Vázquez, Hugo
Hizkuntza:spa
Argitaratua: 2021
Gaiak:
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