Fabricación de capacitores MIM de Al2O3 y YSZ por la técnica de depósito por capa atómica
En el presente trabajo de tesis se realizó la fabricación y la caracterización eléctrica de capacitores tipo metal-aislante-metal o MIM (por sus siglas en Inglés). Los capacitores fueron fabricados con películas dieléctricas de 50 nm, de los materiales ci
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2021
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