Fabricación de capacitores MIM de Al2O3 y YSZ por la técnica de depósito por capa atómica
En el presente trabajo de tesis se realizó la fabricación y la caracterización eléctrica de capacitores tipo metal-aislante-metal o MIM (por sus siglas en Inglés). Los capacitores fueron fabricados con películas dieléctricas de 50 nm, de los materiales ci
Shranjeno v:
Glavni avtor: | |
---|---|
Drugi avtorji: | |
Jezik: | spa |
Izdano: |
2021
|
Teme: | |
Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|