Diseño y simulación de nanoestructuras basadas en silicio para aplicaciones en MEMS /

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La presente tesis se enfoca en el estudio del diseño y simulación de sistemas microelectromecánicos MEMS (“Micro Electro Mechanical Systems” por sus siglas en inglés) y dispositivos de microfluidos utilizando diferentes softwares de la familia Ansys. Estas herramientas son muy útiles para la optimiz...

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Autore principale: Magaña Cabanillas, Luis Humberto
Altri autori: Radnev Nedev, Nicola
Lingua:spa
Pubblicazione: Universidad Autónoma de Baja California, Mexicali. 2023
Soggetti:
Sistemas microelectromecánicos:||Diseño y construcción||Tesis y disertaciones académicas
TK7875 M33 2023
Accesso online:https://hdl.handle.net/20.500.12930/10234
https://doi.org/10.57840/uabc-816
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Accesso online

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https://doi.org/10.57840/uabc-816

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