Caracterización estructural y por espectroscopías elipsométrica y raman de películas delgadas para aplicaciones en la industria semiconductora

La industria microelectrónica es una de las más generosas del mercado actual. No sólo por que se han desarrollado instrumentos, aparatos y dispositivos de alta tecnología, sino porque el diseño de ellos conlleva a un análisis teórico muy interesante, sobr

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Bibliografski detalji
Glavni autor: Herrera García, Jesús Rigoberto
Daljnji autori: Radnev Nedev, Nicola
Jezik:spa
Izdano: Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería. 2021
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