Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica
Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u
שמור ב:
מחבר ראשי: | Jurado González, Jorge Adolfo |
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מחברים אחרים: | Tiznado Vázquez, Hugo |
שפה: | spa |
יצא לאור: |
2021
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נושאים: | |
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