Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u

Spremljeno u:

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Jurado González, Jorge Adolfo
Daljnji autori:	Tiznado Vázquez, Hugo
Jezik:	spa
Izdano:	2021
Teme:	Ingeniería Tesis y disertaciones académicas QC378 J87 2016
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