Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u

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Dettagli Bibliografici
Autore principale: Jurado González, Jorge Adolfo
Altri autori: Tiznado Vázquez, Hugo
Lingua:spa
Pubblicazione: 2021
Soggetti:
Ingeniería Tesis y disertaciones académicas
QC378 J87 2016
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