Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u

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書誌詳細
第一著者:	Jurado González, Jorge Adolfo
その他の著者:	Tiznado Vázquez, Hugo
言語:	spa
出版事項:	2021
主題:	Ingeniería Tesis y disertaciones académicas QC378 J87 2016
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