Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Diseño y construcción de un sistema para síntesis de películas ultra delgadas por medio de la técnica de depósito por capa atómica

Se diseñó, construyó y se verificó el correcto funcionamiento un sistema de "depósito de capa atómica" (ALD) con el propósito de reducir los costos del sistema, en comparación de los sistemas actuales en la industria. El diseño se realizó en Solidworks u

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書目詳細資料
主要作者:	Jurado González, Jorge Adolfo
其他作者:	Tiznado Vázquez, Hugo
語言:	spa
出版:	2021
主題:	Ingeniería Tesis y disertaciones académicas QC378 J87 2016
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