Estudio de las propiedades mecánicas de las películas delgadas de nitruro de tungsteno depositadas por ablación láser /

Estudio de las propiedades mecánicas de las películas delgadas de nitruro de tungsteno depositadas por ablación láser /

Se prepararon una serie de películas delgadas de nitruro de tungsteno (WNx) por medio de la técnica de ablación láser sobre sustratos de silicio (111) para el crecimiento de la película se utilizó un blanco de tungsteno colocado en un ambiente de nitrógen

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Oviedo Bandera, Mariana Jeannete
Otros Autores: Lozano Mejia, Jose Peralta Ibarra, Jorge
Lenguaje:spa
Publicado: 2021
Materias:
Películas delgadas
Física Tesis
QC176.84 O85 2005
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12930/8543
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