Caracterización estructural y por espectroscopías elipsométrica y raman de películas delgadas para aplicaciones en la industria semiconductora

La industria microelectrónica es una de las más generosas del mercado actual. No sólo por que se han desarrollado instrumentos, aparatos y dispositivos de alta tecnología, sino porque el diseño de ellos conlleva a un análisis teórico muy interesante, sobr

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Main Author: Herrera García, Jesús Rigoberto
Other Authors: Radnev Nedev, Nicola
Language:spa
Published: Universidad Autónoma de Baja California. Instituto de Ingeniería. 2021
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