Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

Wedi'i Gadw mewn:
Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur: Pasten Espinoza, Raúl
Iaith:spa
Cyhoeddwyd: 2021
Pynciau:
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