Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

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1. Verfasser: Pasten Espinoza, Raúl
Sprache:spa
Veröffentlicht: 2021
Schlagworte:
Aeroespacial
TK7874 P38 2017
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