Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /
Gorde:
Egile nagusia: | |
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Hizkuntza: | spa |
Argitaratua: |
2021
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Gaiak: | |
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