Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr

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গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Pont de la Torre, Ulises Augusto
অন্যান্য লেখক: Murillo Bracamontes, Eduardo Antonio
ভাষা:spa
প্রকাশিত: 2021
বিষয়গুলি:
Nanolitografía
Ingeniería
Tesis y disertaciones académicas
TK7874.843 P65 2017
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