Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Weitere Verfasser: | |
Sprache: | spa |
Veröffentlicht: |
2021
|
Schlagworte: | |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|