Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | spa |
| Published: |
2021
|
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
@UABCInstitucional
UABC_Oficial
@UABC_Oficial
Tel: +52 686 551 82 00
cienciaabierta@uabc.edu.mx