Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr
Gorde:
| Egile nagusia: | |
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| Beste egile batzuk: | |
| Hizkuntza: | spa |
| Argitaratua: |
2021
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| Gaiak: | |
| Etiketak: |
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