Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr

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Auteur principal: Pont de la Torre, Ulises Augusto
Autres auteurs: Murillo Bracamontes, Eduardo Antonio
Langue:spa
Publié: 2021
Sujets:
Nanolitografía
Ingeniería
Tesis y disertaciones académicas
TK7874.843 P65 2017
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