Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica

El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr

Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autore principale: Pont de la Torre, Ulises Augusto
Altri autori: Murillo Bracamontes, Eduardo Antonio
Lingua:spa
Pubblicazione: 2021
Soggetti:
Nanolitografía
Ingeniería
Tesis y disertaciones académicas
TK7874.843 P65 2017
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !

Documenti analoghi