Sistema de control para la realización de nanolitografía mediante microscopía de fuerza atómica
El presente trabajo tiene como objetivo implementar un sistema que permitarealizar litografía ferroeléctrica a escala nanométrica en el microscopio de barrido por sonda (SPM, por sus siglas en inglés) modelo XE-70 de la compañía Park Systems. Para lograr
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| その他の著者: | |
| 言語: | spa |
| 出版事項: |
2021
|
| 主題: | |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
@UABCInstitucional
UABC_Oficial
@UABC_Oficial
Tel: +52 686 551 82 00
cienciaabierta@uabc.edu.mx