Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

Obtención de los parámetros en el análisis de los blancos de Si-Al para la deposición de películas delgadas de SiAlON mediante la técnica de sputtering para aplicaciones aeroespaciales /

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Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Pasten Espinoza, Raúl
Språk:spa
Publicerad: 2021
Ämnen:
Aeroespacial
TK7874 P38 2017
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